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爱德华螺杆真空泵
参考价:

型号:IH600

更新时间:2020-12-26  |  阅读:1723

详情先容

东莞品雅专业维修爱德华螺杆真空泵IH600/1000

爱德华真空泵针对不同的行业,推出不同的真空泵配型,不同的行业,由于使用环境和工作运行状态不同,需要的产品功能不同,因此爱德华真空泵产品类型众多,没一款产品都是针对不同的行业使用有着非常明显的效果,在高真空和超高真空领域有着非常强大的。

爱德华真空泵IH600/IH1000在半导体行业有着广泛的使用,一般是配合罗茨型真空泵EH2600使用,可以更快的为客户提供所需真空,同时螺杆真空泵在处理水分和小型颗粒,腐蚀性气体非常合适。

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性。

行业应用:
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600订货号:

iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957

爱德华半导体螺杆真空泵IH600参数:

   
峰值速度 600 m3h-1
  353 cfm
  10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
  5.3 x 10-4 Torr
  0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
  4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l

IH1000参数:

峰值速度 1000 m3h-1
  589 cfm
  16670 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
  7.5 x 10-4 Torr
  0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
  4 l min-1
重量 430 kg
极限功率输入 3.8 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.48 l

iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59030957

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