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小抽速爱德华螺杆真空泵
参考价:

型号:IX80/160

更新时间:2020-12-26  |  阅读:354

详情先容

爱德华螺杆真空泵IX80/160维修

304永利官网入口专业从事爱德华真空泵设备维修15年,一直秉承着专业的维修技术,高效的服务态度来对待可以,常年服务去汉能,中车集团,富士康集团,信利集团等,有着专业的维修设备和技术人员,可以全国范围内上门维修保养,提供各种进口真空泵配件及维修包,真空泵油脂等。

爱德华螺杆真空泵IX80/160产品功能与优势:
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

爱德华螺杆真空泵IX系列产品是抽气量很小的螺杆系列产品,一般是在半导体实验室使用的较为广泛一点,一般在工业流水线上面就会使用较大抽速的爱德华螺杆真空泵系列,这样会大大的增加产能,提高企业的利润和效率。

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以实行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

行业应用:
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

技术参数

峰值速度 103 m3h-1
  61 cfm
  1717 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
  7.5 x 10-3 Torr
  1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
  2 l min-1
重量 240 kg
极限功率输入 2.7 kW
电机额定功率 3.5 kW
油容量 0.7 l

IH160技术参数:

峰值速度 165 m3h-1
  97 cfm
  2750 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
  7.5 x 10-3 Torr
  1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
  2 l min-1
重量 244 kg
极限功率输入 3.1 kW
电机额定功率 5.0 kW
油容量 0.85 l

爱德华螺杆真空泵IH80/160订货号:

iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59000908
iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59000945
iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59000946
iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59000957

iH160 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59010908
iH160 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59010945
iH160 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59010946
iH160 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59010957

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