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使用分子泵也是有技巧的!你知道吗?
时间:2021-04-30      阅读:471
   分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵,其分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三大类。分子泵主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。分子泵有着世界醉高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求,随着市场的扩大,大家开发的脚步也从未停止。
  分子泵的操作技巧:
  1、分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气;
  2、不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子泵;
  3、当M2(箱体2)或M7的真空度始终抽不到位时,应检查旋片泵的电磁阀工作是否正常;
  4、在开分子泵前必须打开冷却水阀;在分子泵的叶轮停止运转后,必须关闭冷却水阀;
  5、每次停机后,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏;
  6、当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅,可用器枪检查。确保水路顺畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵,待后处理;
  7、在分子泵出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的分子泵;
  8、当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常;
  9、当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。
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