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还不清楚分子泵的不妨进来瞧瞧!
时间:2020-06-11      阅读:569
       分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵,其分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三大类。分子泵主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。分子泵有着世界醉高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求,随着市场的扩大,大家开发的脚步也从未停止。
  分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。
  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵(盖德泵)。牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故降,而且制造困难,实际上很少应用。
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