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分子泵的性能原理及结构都是怎样的呢?
时间:2020-06-05      阅读:671
       分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
  常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造,使得叶片转速不断提高的同时,更使分子泵适合超高真空系统,也延长了分子泵的使用寿命。
  分子泵与油封式旋片泵和涡轮式干泵相比,工作环境更加清洁,而且可以达到极高的真空度。但是,分子泵不能在大气压下工作,必须和其他能够在大气压下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或涡轮式干泵)联合使用。分子泵构造复杂、价格昂贵,高速旋转工作时会有振动。
  分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。
  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵(盖德泵)。牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故降,而且制造困难,实际上很少应用。
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